No. 711 ナノメータ微小変位計測システム NS-1 （特許第5036005号）
No. 711 ナノメータ微小変位計測システム NS-1 （特許第5036005号）
NANOMETER DISPLACEMENT MEASUREMENT SYSTEM
用途
粗面物体をレーザで照射した際、発生する散乱場（レーザスペックル）の統計が、完全にランダムであることを統計的な意味での基準とした、光学素子の精度や測定対象による制限を受けない新しい光干渉計測法システムです。
仕様
| レーザ | 波長660nm 最大出力90ｍW クラス3B相当 |
| ビーム径 | 約1.0mm |
| ビーム間距離 | 約3mm |
| 計測精度 | ±1nm（ただし使用する環境条件により変化します） |
| 計測範囲 | 0－3mm |
| フレームレート | 2fps |
| データ処理ソフトウェア付属 | |
電源
単相、AC100V、50/60Hz、5A
機体寸法・質量
W240×D200×H150～350mm（高さは専用ラボジャッキ使用） 約2kg（本体）
W390×D320×H200mm 約6kg（計測部）
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