各種材料評価試験機の総合メーカー 株式会社東洋精機製作所

No. 711 ナノメータ微小変位計測システム NS-1 特許第5036005号NANOMETER DISPLACEMENT MEASUREMENT SYSTEM

用途

粗面物体をレーザで照射した際、発生する散乱場(レーザスペックル)の統計が、完全にランダムであることを統計的な意味での基準とした、光学素子の精度や測定対象による制限を受けない新しい光干渉計測法システムです。

仕様

レーザ 波長660nm 最大出力90mW クラス3B相当
ビーム径 約1.0mm
ビーム間距離 約3mm
計測精度 ±1nm(ただし使用する環境条件により変化します)
計測範囲 0-3mm
フレームレート 2fps
データ処理ソフトウェア付属

電源

単相、AC100V、50/60Hz、5A

機体寸法・質量

W240×D200×H150~350mm(高さは専用ラボジャッキ使用) 約2kg(本体)
W390×D320×H200mm 約6kg(計測部)

 

詳細は下記お問い合わせ又は、イプロスサイトから。※イプロスへのユーザー登録が必要です。

前のページへ戻る

PAGE TOP